Физические основы быстрой термообработки: Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия / В. М. Анищик [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск : БГУ , 2002 |
| Физические характеристики: |
130, [1] с. : ил., табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||