|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br406071 |
| 005 |
20230414162612.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020515d2002 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственного из пучков ионов
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$f Шевчук Сергей Леонидович
$g [Физ.-технол. ин-т РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 21-22 (10 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12162
$a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2445715
$a СИНТЕЗ (хим.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12176
$a ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32976
$a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36645
$a ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-520221
$a Шевчук
$b С. Л.
$g Сергей Леонидович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020515
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
