Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственного из пучков ионов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Шевчук Сергей Леонидович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шевчук, С. Л. |
| Опубликовано: | М. , 2002 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||