Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.13.12 / Серов Александр Алексеевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Серов, А. А. |
| Publicado: | М. , 2001 |
| Descripción Física: |
27 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||