Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.13.12 / Серов Александр Алексеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Серов, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 2001 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||