|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br391111 |
| 005 |
20220519105246.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020314d2001 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.13.12
$f Серов Александр Алексеевич
$g [Ин-т проблем проектирования в микроэлектроники Рос. акад. наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 27 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 26-27 (10 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1589
$a АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29086
$a САПР
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18382
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar42268
$a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659644
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27408
$a РАСПЛАВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar88186
$a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15212
$a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9083
$a ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2644768
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 67.69.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.17
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.51.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-533507
$a Серов
$b А. А.
$g Александр Алексеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020314
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
