Исследование процессов формирования и защиты поверхности планарных P-N переходов и модернизация базовой технологии изготовления фотодиодов на основе InSb: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Талимов Алексей Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад64949,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Талимов, А. В.
Опубликовано: Москва , 2001
Физические характеристики: 18, [1] с., включая обложку : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br390222
005 20230626144335.0
100 # # $a 20020312d2001 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование процессов формирования и защиты поверхности планарных P-N переходов и модернизация базовой технологии изготовления фотодиодов на основе InSb  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Талимов Алексей Владимирович  $g [Московская государственная академия тонкой химической технологии им. М. В. Ломоносова, ОАО "Московский завод "Сапфир"] 
210 # # $a Москва  $d 2001 
215 # # $a 18, [1] с., включая обложку  $c ил. 
320 # # $a Библиография в конце текста (5 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36384  $a ФОТОДИОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4414793  $a ТЕМНОВОЙ ТОК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9636005  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7185765  $a АНОДНО-ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33492  $a ТЕПЛОСТОЙКОСТЬ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14480076  $a Талимов  $b А. В.  $g Алексей Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020312  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo