Исследование процессов формирования и защиты поверхности планарных P-N переходов и модернизация базовой технологии изготовления фотодиодов на основе InSb: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Талимов Алексей Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Талимов, А. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2001 |
| Физические характеристики: |
18, [1] с., включая обложку : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||