Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Бердников Аркадий Евгеньевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад64560,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бердников, А. Е.
Опубликовано: Ярославль , 2001
Физические характеристики: 38 с.
Язык: Русский
Предмет:
ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
АМОРФНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ
КРЕМНИЙ
ГИДРОГЕНИЗАЦИЯ
ПЛАЗМА (физ.)
ОСАЖДЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br389162
005 20211110143304.0
100 # # $a 20020305d2001 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e 05.27.01  $f Бердников Аркадий Евгеньевич  $g [Ин-т микроэлектроники и информатики Рос. акад. наук] 
210 # # $a Ярославль  $d 2001 
215 # # $a 38 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 32-38 (18 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5289739  $a АМОРФНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7480  $a ГИДРОГЕНИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23641  $a ПЛАЗМА (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-513984  $a Бердников  $b А. Е.  $g Аркадий Евгеньевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020305  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 

Схожие документы