Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Бердников Аркадий Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бердников, А. Е. |
| Опубликовано: | Ярославль , 2001 |
| Физические характеристики: |
38 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||