Methods for obtaining a uniform volume concentration of implanted ions
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Реутов, В. Ф. |
| Опубликовано: | Dubna , 1995 |
| Физические характеристики: |
10 p.
|
| Язык: | Английский |
| Серия: |
Prepr.
E-14-95-56) |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||