Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.11.07 / Спесивцев Евгений Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад61101,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Спесивцев, Е. В. (род. 1964)
Опубликовано: Новосибирск , 2001
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ОПТИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАЗРЕШЕНИЕ
МИКРОЧАСТИЦЫ (физ.)
ТОЧНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЙ
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ЮСТИРОВКА
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br376739
005 20210527151513.0
100 # # $a 20020115d2001 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.11.07  $f Спесивцев Евгений Васильевич  $g [Ин-т физики полупроводников Сиб. отд-ния Рос. акад. наук] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2001 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 21-23 (16 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21831  $a ОПТИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60422  $a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7385666  $a ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАЗРЕШЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar54118  $a МИКРОЧАСТИЦЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2857769  $a ТОЧНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7182445  $a ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39969  $a ЮСТИРОВКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.07  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.31.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.41  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-507880  $a Спесивцев  $b Е. В.  $g Евгений Васильевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1964 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020115  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 

Схожие документы