Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.11.07 / Спесивцев Евгений Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Спесивцев, Е. В. (род. 1964) |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2001 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||