|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br376492 |
| 005 |
20210528120158.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020115d2001 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 05.27.01
$f Старостина Елена Алексеевна
$g [Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a пос. Черноголовка (Моск. обл.)
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 18-19 (7 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2061
$a УСИЛИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11385
$a ИЗОЛЯЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ (строит.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2745708
$a ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3257771
$a ПОРООБРАЗОВАТЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2748278
$a ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34137
$a ТОЛЩИНА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38902
$a ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ИЗОЛЯЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8902405
$a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13178486
$a СЕЛЕКТИВНОСТЬ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-506929
$a Старостина
$b Е. А.
$g Елена Алексеевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020115
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
