Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Старостина Елена Алексеевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Старостина, Е. А. |
| Опубликовано: | пос. Черноголовка (Моск. обл.) , 2001 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||