Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.13.18 / Коваленко Владислав Борисович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коваленко, В. Б. |
| Опубликовано: | Воронеж , 2001 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||