Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.05 / Крючков Юрий Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад60659,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Крючков, Ю. И.
Опубликовано: Новосибирск , 2001
Физические характеристики: 32 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br374734
005 20210311165331.0
100 # # $a 20020108d2001 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 01.04.05  $f Крючков Юрий Иванович  $g [Ин-т оптики и опт. технологий Сиб. гос. геодез. акад.] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2001 
215 # # $a 32 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 30-32 (24 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30588  $a СЛОИСТЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39112  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55517  $a ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2922604  $a ТОНКИЕ ОПТИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2918258  $a ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125682  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.31.26  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.33.39  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.03.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.05  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-506542  $a Крючков  $b Ю. И.  $g Юрий Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020108  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo