Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.05 / Крючков Юрий Иванович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крючков, Ю. И. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2001 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||