|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br367804 |
| 005 |
20190122094356.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20011129d1992 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование электрохимических и плазмохимических процессов обработки слоев алюминия, тантала и их анодных оксидов при создании планарной многоуровневой металлизации СБИС
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$f Мозалев Александр Михайлович
$g Мин. радиотехн. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 16-18 (23 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23677
$a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23678
$a ПЛАНАРНАЯ ТЭХНАЛОГІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39302
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23669
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39310
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17958
$a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2262
$a АЛЮМИНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32908
$a ТАНТАЛ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32909
$a ТАНТАЛ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39303
$a ЭЛЕКТРАХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23670
$a ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ МЕТАДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39311
$a ЭЛЕКТРАХІМІЧНЫЯ ПАКРЫЦЦІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19559
$a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34343
$a ТРАЎЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17959
$a МЕТАЛІЗАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2263
$a АЛЮМІНІЙ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:621.793(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-320248
$a Мозалев
$b А. М.
$g Александр Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20011129
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/BA255269.pdf
|
