Исследование электрохимических и плазмохимических процессов обработки слоев алюминия, тантала и их анодных оксидов при создании планарной многоуровневой металлизации СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Мозалев Александр Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мозалев, А. М. |
| Опубликовано: | Мн. , 1992 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||