Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники / Клеменов Владимир Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Клеменов, В. Н. |
| Опубликовано: | Москва , 2000 |
| Физические характеристики: |
42 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||