Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники / Клеменов Владимир Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад52688,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Клеменов, В. Н.
Опубликовано: Москва , 2000
Физические характеристики: 42 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад52688 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:76 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал