|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br334670 |
| 005 |
20211208073303.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20010521d2000 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники
$f Клеменов Владимир Николаевич
$g [Московский государственный институт электроники и математики]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2000
|
| 215 |
# |
# |
$a 42 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 39―42 (53 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19808
$a НАУКОЕМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4867
$a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6544
$a ВЫСОКОВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4863
$a ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39331
$a ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17326
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar44808
$a ПРОГНОЗИРОВАНИЯ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5283101
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar54220
$a РАБОЧИЕ ЖИДКОСТИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2648308
$a ЗАЩИТЫ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1589
$a АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.07
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-494039
$a Клеменов
$b В. Н.
$g Владимир Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20010521
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
