Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Макаров Антон Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Макаров, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 2000 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||