Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Макаров Антон Сергеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Макаров, А. С. |
Опубликовано: | М. , 2000 |
Физические характеристики: |
20 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|