Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике" / В. З. Петрова, Н. А. Ханова, В. И. Гребенькова, Р. Ф. Шутова. Ч. 3 : Материалы и химические процессы в технологии микроэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок39791,
Вид документа: Книги
Физические характеристики: 196 с.
Язык: Русский
Предмет:
Загрузка