Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике" / В. З. Петрова, Н. А. Ханова, В. И. Гребенькова, Р. Ф. Шутова. Ч. 3 : Материалы и химические процессы в технологии микроэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Физические характеристики: |
196 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||