|
|
|
|
|
00000cam2a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br26920 |
| 005 |
20201214135403.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-7256-0256-7
|
| 020 |
# |
# |
$a ru
$b 94-1449
|
| 100 |
# |
# |
$a 19940530d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Материалы и химические процессы в технологии микроэлектроники
|
| 215 |
# |
# |
$a 196 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.:с.194 (14 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br96771G10194
$1 2001
$v Ч. 3
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17343
$a ЭЛЕКТРОННЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36792
$a ХІМІЧНЫЯ РЭАКЦЫІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36791
$a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3(075.8)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182254
$a Петрова
$b В. З.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182255
$a Ханова
$b Н. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182256
$a Гребенькова
$b В. И.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182257
$a Шутова
$b Р. Ф.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19940530
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
