|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br26541 |
| 005 |
20220412161120.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-7256-0002-5
$d Б.ц.
|
| 020 |
# |
# |
$a ru
$b 94-1470
|
| 100 |
# |
# |
$a 19930724d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические процессы микроэлектронной технологии
$e Сб.науч.тр.
$f Моск.гос.ин-т элетрон.техники (техн.ун-т)
$g Под ред.И.Н.Сорокина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 203 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.в конце ст.
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35865
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35866
$a ФІЗІКА-ХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2760591
$a СБОРНИК НАУЧНЫХ ТРУДОВ
$2 BYGNR
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2760593
$a ЗБОРНІК НАВУКОВЫХ ПРАЦ
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(082)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-183478
$a Сорокин
$b И. Н.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930724
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
