Физико-химические процессы микроэлектронной технологии: Сб.науч.тр. / Моск.гос.ин-т элетрон.техники (техн.ун-т)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1993 |
| Физические характеристики: |
203 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||