Формирование тонких пленок диоксида циркония методом анодирования, его свойства и применение в элементах микросхем: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: 03.12.1998: 10.02.1999 / Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Петров, Н. П. |
| Опубликовано: | Мн. , 1998 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||