Исследование процесса получения и свойств поликристаллических пленок кремния и германия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Ковалевский Александр Адамович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Ковалевский, А. А. (род. 1942) |
| Published: | Минск , 1979 |
| Physical Description: |
23 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||