|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br233361 |
| 005 |
20220608115300.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19980923d1986 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование процессов формирования в резисте структур топологии интегральных микросхем многоканальным оптическим генератором изображений
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники
$f Гурский Валерий Борисович
$g Академия наук БССР, Институт электроники АН БССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21―22 (14 назв.)
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34220
$a ТОПОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:763(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.07
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-299629
$a Гурский
$b В. Б.
$g Валерий Борисович
$c электроника
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19980923
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba207664.pdf
|
