Моделирование процессов формирования в резисте структур топологии интегральных микросхем многоканальным оптическим генератором изображений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники / Гурский Валерий Борисович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гурский, В. Б. |
| Опубликовано: | Минск , 1986 |
| Физические характеристики: |
22 с. : табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||