Методы и технические средства автоматизированнного контроля топологии фотошаблонов и гибридных интегральных схем СВЧ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05) / АН БССР, Ин-т электроники

Сохранено в:
Шифр документа: Ба227979, 85104/89,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Буров, Ю. Г.
Опубликовано: Мн. , 1989.
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br232911
005 20210127134905.0
100 # # $a 19980622d1989 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Методы и технические средства автоматизированнного контроля топологии фотошаблонов и гибридных интегральных схем СВЧ  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05)  $f АН БССР, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 1989. 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с.18-20 (20 назв.).- Для служ. пользования. Экз. N ... 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2122596  $a СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7404  $a ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1585  $a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33752  $a ТЕХНИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34220  $a ТОПОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85262  $a ФОТОШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2122598  $a ЗВЫШВЫСОКІЯ ЧАСТОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1586  $a АЎТАМАТЫЧНЫЯ СІСТЭМЫ КАНТРОЛЮ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34221  $a ТАПАЛОГІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85263  $a ФОТАШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85257  $a ФОТАЛІТАГРАФІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33753  $a ТЭХНІЧНЫЯ СРОДКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7405  $a ГІБРЫДНЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13924005  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.776.029.64:776(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-298483  $a Буров  $b Ю. Г.  $g Юрий Георгиевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980622  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba227979.pdf