Методы и технические средства автоматизированнного контроля топологии фотошаблонов и гибридных интегральных схем СВЧ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05) / АН БССР, Ин-т электроники

Сохранено в:
Шифр документа: Ба227979, 85104/89,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Буров, Ю. Г.
Опубликовано: Мн. , 1989.
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ
ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
ТЕХНИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА
ТОПОЛОГИЯ
ФОТОШАБЛОНЫ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ЗВЫШВЫСОКІЯ ЧАСТОТЫ
АЎТАМАТЫЧНЫЯ СІСТЭМЫ КАНТРОЛЮ
ТАПАЛОГІЯ
ФОТАШАБЛОНЫ
ФОТАЛІТАГРАФІЯ
ТЭХНІЧНЫЯ СРОДКІ
ГІБРЫДНЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br232911
005 20210127134905.0
100 # # $a 19980622d1989 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Методы и технические средства автоматизированнного контроля топологии фотошаблонов и гибридных интегральных схем СВЧ  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05)  $f АН БССР, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 1989. 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с.18-20 (20 назв.).- Для служ. пользования. Экз. N ... 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2122596  $a СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7404  $a ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1585  $a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33752  $a ТЕХНИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34220  $a ТОПОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85262  $a ФОТОШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2122598  $a ЗВЫШВЫСОКІЯ ЧАСТОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1586  $a АЎТАМАТЫЧНЫЯ СІСТЭМЫ КАНТРОЛЮ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34221  $a ТАПАЛОГІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85263  $a ФОТАШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85257  $a ФОТАЛІТАГРАФІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33753  $a ТЭХНІЧНЫЯ СРОДКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7405  $a ГІБРЫДНЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13924005  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.776.029.64:776(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-298483  $a Буров  $b Ю. Г.  $g Юрий Георгиевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980622  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br232911&fileID=166870 

Схожие документы