Методы и технические средства автоматизированнного контроля топологии фотошаблонов и гибридных интегральных схем СВЧ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Буров, Ю. Г. |
| Опубликовано: | Мн. , 1989. |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||