Исследование и разработка технологического процесса создания локальных р¯-областей и затвора низкопороговых КМОП интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Цуканов Лев Николаевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Цуканов, Л. Н. |
Опубликовано: | Минск , 1979 |
Физические характеристики: |
25 с. : табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|