Разработка и исследование оптоэлектронных методов и устройств автоматизированного контроля линейных размеров элементов с регулярными структурами в технологии производства электронных приборов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.20 Оптические системы локации, связи и обработки информации / Чехович Евгений Казимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чехович, Е. К. |
| Опубликовано: | Минск , 1980 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||