Неконтролируемые примеси в полупроводниковых структурах на основе кремния и методы их геттерирования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Комар, В. А. |
| Опубликовано: | Мн. , 1987 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||