|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br229843 |
| 005 |
20171212114956.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981009d1988 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности легирования кремния имплантацией ионов бора сквозь слои термического окисла
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10
$f Бел. гос. ун-т им.В.И.Ленина
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 c., включ. обл.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с.18-21 (21 назв.)
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служ. пользования. Экз. N ...
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33558
$a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24595
$a ПАЎПРАВАДНІКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33559
$a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.3.002(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-295662
$a Курьязов
$b В. Д.
$g Владимир Дурдыевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981009
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba221258.pdf
|
