Особенности легирования кремния имплантацией ионов бора сквозь слои термического окисла: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Бел. гос. ун-т им.В.И.Ленина
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Курьязов, В. Д. |
Опубликовано: | Мн. , 1988 |
Физические характеристики: |
21 c., включ. обл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|