Исследование процессов формирования металлических и поликристаллических кремниевых электродов для низкопороговых к МОП БИС: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Лесникова Валентина Павловна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лесникова, В. П. |
| Опубликовано: | Минск , 1980 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 4 , доступно: 4 | Доступно Заказать | |||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||||||||||||