Формирование окисных слоев кремния ионной имплантацией кислорода для создания межкомпонентной изоляции интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Протасевич Петр Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Протасевич, П. В. |
| Опубликовано: | Минск , 1985 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||