Контроль качества промышленных кремниевых структур методом фото-Э.Д.C. в системе полупроводник-электролит: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Суслов Валерий Анатольевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Суслов, В. А. (род. 1956) |
Опубликовано: | Минск , 1986 |
Физические характеристики: |
21 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|