Контроль качества промышленных кремниевых структур методом фото-Э.Д.C. в системе полупроводник-электролит: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Суслов Валерий Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Суслов, В. А. (род. 1956) |
| Опубликовано: | Минск , 1986 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||