|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br228772 |
| 005 |
20221020135028.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981201d1986 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Контроль качества промышленных кремниевых структур методом фото-Э.Д.C. в системе полупроводник-электролит
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника
$f Суслов Валерий Анатольевич
$g Академия наук БССР, Институт электроники АН БССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19―21
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14542
$a КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:658.562.3(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:620.187(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.01
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-295272
$a Суслов
$b В. А.
$g Валерий Анатольевич
$c электроника
$f род. 1956
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-980479
$a Белорусский государственный университет имени В. И. Ленина
$c Минск
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981201
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba207678.pdf
|
