|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br227167 |
| 005 |
20171213144953.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981013d1988 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Система автоматического управления электрохимическим анодированием кремния в производстве интегральных микросхем
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: ( 05.13.07)
$f Мин. радиотехн. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 16-17 (15 назв.)
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служ. пользования. Экз. N ...
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39302
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1551
$a АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83379
$a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39303
$a ЭЛЕКТРАХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1552
$a АЎТАМАТЫЧНАЕ КІРАВАННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83380
$a АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.794.61:621.357.8(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-179568
$a Лабоцкий
$b В. В.
$g Владимир Вилентьевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981013
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba221259.pdf
|
