Система автоматического управления электрохимическим анодированием кремния в производстве интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: ( 05.13.07) / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лабоцкий, В. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1988 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||