Исследование процесса катодного взаимодействия металлсодержащих растворов с поверхностью кремния и разработка физико-химических основ технологических процессов легирования и металлизации кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Петрович Владимир Алексеевич
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Петрович, В. А. |
| Wydane: | Минск , 1980 |
| Opis fizyczny: |
24 с. : граф.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||