Исследование процесса катодного взаимодействия металлсодержащих растворов с поверхностью кремния и разработка физико-химических основ технологических процессов легирования и металлизации кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Петрович Владимир Алексеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Петрович, В. А. |
| Опубликовано: | Минск , 1980 |
| Физические характеристики: |
24 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||