Исследование процесса катодного взаимодействия металлсодержащих растворов с поверхностью кремния и разработка физико-химических основ технологических процессов легирования и металлизации кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Петрович Владимир Алексеевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Петрович, В. А. |
| Published: | Минск , 1980 |
| Physical Description: |
24 с. : граф.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||